透射电子显微镜TEM

1、项目介绍：

TEM透射电镜的分辨率比光学显微镜高得很多，电子束穿过超薄样品后投射在TEM成像探测器上。包括TEM（投影）和STEM（电子束扫描）两种成像模式，可分析物质的精细结构、原子排列、化学特性、晶体方向等。

2、应用优势：

　200kV电子源，分辨率0.12nm，放大倍率150X-230MX，Dual-XEDX探头分辨率高，可实现高分辨STEM成像，EDX定量更准确。满足单个晶体管成像，薄膜厚度精确测量，OLED有机物成像&分布，设备多，实现每天30颗产能。

3、其他服务：

（1）针对硅基/玻璃基样品、FIB制备、In-situ制备、Ex-situ制备，可实现样品平面PV+截面XS，不同尺寸分析；满足单个晶体管制备，指定失效位置制备，任意位置制备、超薄<30nm样品制备。

（2）针对三五族GaNGaAsInp样品、FIB制备、In-situ制备、Ex-situ制备，实现样品平面PV+截面XS，不同尺寸分析；满足指定失效位置制备，任意位置制备、超薄<30nm样品制备，超大>30nm样品制备。