原子力显微镜 (AFM)

一、项目介绍 Introduction：

　　原子力显微镜（AFM）是一种具有极好的垂直分辨率 （亚纳米）的扫描探针显微镜。 它是研究表面拓扑和 表面粗糙度值的强大工具。 通过隧道式AFM（TUNA） 和纳米压痕的应用模块，可以测量电气和机械性能。

二、分析指标Specifications

　　垂直分辨率0.1nm

　　最佳横向分辨率7nm

　　最大扫描面积80um x 80um

　　TUNA 10pA - 10uA的电流范围

　　力范围在Nanoindentation 1-100uN

三、应用案例

　　1、表面形貌和表面粗糙度

　　2、纳米压痕Nanoindentation

　　压痕是确定样品的机械性能，如硬度或模量的常用工具。 借助于AFM系统上的金刚石探头，它可以纳入极小体积的样品，以获得有价值的数据。 AFM还可以进行纳米划痕和磨损试验，以研究膜的粘附性和耐久性。

　　3、导电原子力显微镜 C-AFM

通过样品卡盘向样品施加一定电压。当AFM尖端接地时， 如果导体有流过样品的电流。 电流映射可以与形貌一起获得。