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成份分析
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  • 俄歇电子能谱仪 (AES)

    2023-07-11 一、项目介绍:俄歇电子能谱仪利用荷能电子束激发样品表面原子产生的俄歇电子,来对样品表面元素进行鉴别与定量分析。同 时,在检测原子序数较小的元素时,该仪器具有高灵敏度,且有极佳的空间分辨率,常用于样品表面的微区分 析。借助于离子束的剥蚀,俄歇电子能谱仪还能实现量化的深度剖析,并广泛应用于薄膜各
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