俄歇电子能谱仪 (AES)
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发布: 超级管理员/
发布时间:2023-07-11 15:24:43/
一、项目介绍：
俄歇电子能谱仪利用荷能电子束激发样品表面原子产生的俄歇电子，来对样品表面元素进行鉴别与定量分析。同 时，在检测原子序数较小的元素时，该仪器具有高灵敏度，且有极佳的空间分辨率，常用于样品表面的微区分 析。借助于离子束的剥蚀，俄歇电子能谱仪还能实现量化的深度剖析，并广泛应用于薄膜各层及界面的分析。
二、应用优势：
（1）基体效应小，易于定量；
（2）成像分辨率高，~10nm
三、局限：
（1）化学态信息有限
（2）分析绝缘体较困难
（3）无法检测H及He
（4）样品须满足超高真空条件
关键词： 第三方检测机构,第三方测试中心,检测质检报告,检测单位,检测实验室,检测平台
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